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SUN-5021P是一款星泰克創(chuàng)新耐刻蝕光刻膠，刻蝕比可以達(dá)到0.875（膠:GaN = 4.2:4.8)，適合于深刻蝕工藝。SUN-5021P適用于i-線或汞燈全譜曝光，顯影后側(cè)邊夾角為50-60°，滿足客戶對圖形坡度的要求。